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ITO面電阻

發(fā)布時(shí)間:2014-08-20

ITO膜導(dǎo)電性能采用的指標(biāo)是方塊電阻,用R表示。

 RITO的體電阻率及ITO膜厚有關(guān)。

如下圖是電流平行經(jīng)過(guò)ITO膜層的情形。圖中,d為膜厚;I為電流;L1為膜層在電流方向上的長(zhǎng)度;L2為膜層在垂直電流方向的長(zhǎng)度。

L2

L1

I

d

 

 

 

 


 

 

當(dāng)電流流過(guò)上圖所示的方形導(dǎo)電膜層時(shí),該層的電阻為: 

 


R

=

d

ρ

式中,p為導(dǎo)電膜的體電阻率。對(duì)于給定的膜厚層,pd可以認(rèn)為是不變的定值,當(dāng)L1=L2時(shí),即為正方形的膜層,無(wú)論方塊大小如何,其電阻均為定值p/d,這就是方塊電阻的定義,即

R=ρxxx

L1

dL2

 

 


式中,R單位為:(Ω/)。

 方塊電阻通常用四探針測(cè)試儀來(lái)測(cè)定。 

 

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