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曝光:用紫外光(UV)通過(guò)預(yù)先制作好的電極圖形掩模版
照射光刻膠表面, 使被照光刻膠層發(fā)生反應(yīng),在涂有光刻膠
的玻璃上覆蓋光刻掩模版在紫外燈下對(duì)光刻膠進(jìn)行選擇性
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